잉곳
개요
자사의 잉곳은 칩 제조 사업의 첫 걸음으로 설계되었습니다.
모든 불순물을 제거한 자사의 잉곳은, 웨어퍼 및 부품으로써 완벽한 재료입니다.
크리스탈 잉곳은 폴리 실리콘과 도판트로 제작됩니다.
잉곳은 아주 얇은 웨이퍼나 칩 제조 공정과 에칭 머신의 부품으로 사용됩니다.
고객 요구를 반영하여, 자사는 잉곳은 다양한 형태와 크기로 (최대 직경 480mm) 제작이 가능합니다.
제품 사양
번호 | 특성항목 | 단위 | 규격(사양) |
1 | 순도 | % | ≧9N |
2 | 직경규모 | mm | 00.0~480.0 |
3 | 타입/함유물 | P type/Boron | |
4 | 저항값 | Ωcm | <0.02 / 1~4 / 60~90 |
5 | 산소 포화도 | ppma | ≦18 |
6 | 탄소 포화도 | ppma | ≦0.3 |
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